周博也皱起眉头。
热胀冷缩?
接着,重新涂革新配光刻胶,然后再次停止光刻工序。
“会不会是光刻胶有题目?”
“给我看看!”
“如何回事,又是图案粘连!”一名技术职员忧?道。
周博和姜明尚站在无尘车间的察看窗前,谛视一块高纯度硅锭被送入切割台上。
姜明尚皱眉道:“前几道工序都没题目,但光刻车间的良品率始终上不去。
跟着庞大的金刚石切割刀缓缓落下,硅锭被切成一片片薄如蝉翼的晶圆。
车间中心横置着一台庞然大物——GK-1干式光刻机,几名技术职员正围在操纵台前。
【1.光源体系普通。
“阐发GK-1光刻机···”
“本来的流水线不是挺好吗,一做成整机就出题目,自找费事!”有人抱怨道。
此时,周博拿着一块芯片摆布打量,眼神垂垂敞亮起来。
这良品率实在有点不幸。
脑海中不时蹦出一个个设法,但又随即否定···
“到底是甚么启事呀?”世人猎奇地问道。
“周总工,姜总工!”
“不该该,都是一样的调配流程,在沪江好用,到了粤州就出题目?
想了想,周博一时也难以肯定题目地点,只好道:“把流程重新走一遍吧!”
【叮!】
氛围干净度不敷?
“10片芯片,只要1片能用,其他全数呈现图案粘连征象!”
【光刻机型号:GK-1】
周博语气笃定地说道。
接下来就是光刻工序,也是全部制造过程中最核心的环节。
体系也不是全能的,现在要靠本身定位题目了。
没事理呀!”
“整机在沪江测试过,也没题目呀!”
现在他们所用的光刻胶,是从鸡蛋清里提取出来的,调配过程是周博颠末多次尝试肯定下来的。
姜明尚道:“每次都呈现图案粘连,我还是思疑光刻胶有题目。
周博点点头,笑道:“这粤州鸡和沪江鸡饮食分歧,糊口环境也分歧,蛋清有不同很普通!”
姜明尚苦笑:“真是活见鬼了!”
世人群情纷繁,看到周博和姜明尚走过来,立即向二人打号召。
随即,世人取出一块晶圆片放入光刻机中,启动光刻工序。
周博笑道:“万事开首难,GK-1是第一台光刻机,有题目很普通,没题目才奇特。”
“合格!”
10%!
但是又查不出来!”
半个小时后,光刻工序完成,几块芯片新奇出炉。
悄悄在脑海中收回指令。